No.60 浦东新区 No.11 芯片制造 No.7 传感器 No.15 芯片 No.10 集成电路 No.2 硅片 No.3 光刻机 No.1 光刻胶 No.1 刻蚀机 No.4 薄膜 No.7 微电子 No.1 材料研发 No.20 半导体 No.3 半导体装备 No.1 离子注入机